Ионная имплантация кислорода при­водит к уменьшению электро­про­вод­нос­ти ( )пленок. Уменьшение электропроводности и холловской концен­трации ектронов ( ) имплантированных пленок  при отжиге в ва­ку­уме. При термоотжиге на воздухе интенсивность уменьшения электропро­водности в пленках и имплантированных, и неимплантированных кислоро­дом гораздо выше, чем при отжиге им­план­­­­тированных образцов в вакууме